A SABIC Innovative Plastics új Ultra-Pure Stat-Loy* vegyületei rendkívül „tiszta” műanyag megoldásokat biztosítanak a félvezető iparág számára

BERGEN OP ZOOM, Hollandia – 2008. május 29. – Miközben a felhasználók egyre erősebb és funkcionálisabb elektronikai készülékeket igényelnek, a félvezető iparág arra törekszik, hogy minél több funkciót tömörítsen a meglévő integrált áramkörökbe vagy „chipekbe”. Az új generációs chipek fotolitográfiai eljárással készülnek, amely az argon-fluoridos (ArF) lézertechnológiát használja. Az ArF lézerek alkalmazását késleltette azonban az IC gyártási folyamatban használt védőkonténerek (fotómaszkok és szállemezek) esetében alkalmazott, kellőképpen “tiszta” műanyagok hiánya. Hogy szembenézzen ezzel a kihívással, és megoldást nyújtson az ügyfelek igényeire, a SABIC Innovative Plastics LNP* Specialty Compounds kifejlesztette az Ultra-Pure Transparent (UPT - ultra-tiszta átlátszó) Stat-Loy* 63000CT szériájú műanyagokat. Az UPT Stat-Loy vegyületek, amelyeket a lapkák védőeszközeiben használnak, gátolják a gázkibocsátást, ami szennyezheti a lapkákat, növelheti a selejtek számát és a költségeket.

Az IC gyártó igényeinek kielégítése

Az integrált áramkörök gyártásához rendkívül tiszta eljárásokra van szükség. A perforációtávolság finomodásával párhuzamosan egyre erősebben jelentkezik a műanyag-kigázosodátásból származó szennyező anyagok hatása. Ha az illékony organikus vegyületek vagy a lúgozó hatású ionok elérik a szilikonlapkák, fotomaszkok vagy szállemezek felületét, akkor károsíthatják az eszközt vagy zavarhatják annak működését. A nagyteljesítményű ArF lézerek használatával a lemezek és tartályok még jobban ki vannak téve a kigázosodás károsító hatásának.

“Az, hogy a rendelkezésre álló tartály-anyagok nem voltak megfelelőek, évekkel késleltette az ArF lézerre való áttérést” -- mondta Yeo Aun Hua, a SABIC Innovative Plastics LNP termékmenedzsere. “Felismerve, hogy az új technológiára való áttérés kulcsfontosságú az integrált áramkörök gyártói számára, a SABIC Innovative Plastics kifejlesztette az UPT Stat-Loy 63000CT vegyületeket, amelyek segítségével óriási akadály gördíthető el az elemek miniatürizálásának útjából. Erőfeszítéseinknek és az újításokkal szembeni elkötelezettségünknek köszönhetően az integrált áramkörök gyártói áttérhetnek az ArF lézerek alkalmazására, ezzel rendkívül kicsi, 45 nm és annál kisebb áramköröket hozva létre.”

A Gudeng Precision Industrial Co. Ltd egyike a világ legnagyobb ultratiszta fotómaszkok tárolására/szállítására készült tartók, valamint a fáziseltolásos maszkok (PSM) számára készült szállemez-tisztító berendezések gyártóinak. Dr. Poshin Lee technikai menedzser szerint “a Stat-Loy 63000CT rendkívüli anyag a jelen és a jövő lapka/fotómaszk szállító eszközeinek gyártásához. Megfelel a szigorú tisztasági követelményeknek, és segítségével a lehető legalacsonyabbra csökkenthető a szállítás közbeni szennyeződés veszélye.”

A Sakase Chemical Co., Ltd. TAC Carrier márkanévvel új tartályokat fejlesztett ki a JEDEC szabványtól eltérő komponensek szállítására, beleértve a precíziós mikroelemeket és a vékony rétegű integrált áramköri chipeket, amelyeknek kezelése kialakításukból és alakjukból kifolyólag igen nehéz. Amint azt Ikuo Konishi, a fejlesztési osztály vezetője elmondta: “Az antisztatikus tulajdonságokkal rendelkező, rendkívüli tisztaságú Stat-Loy 63000CT vegyületet a Kaneka ragasztójával kombinálva lehetővé vált egy új termékszéria kidolgozása a nehezen kezelhető, JEDEC szabványtól eltérő komponensek számára, mint amilyenek a mikro-elektromechanikai rendszerek (MEMS), lencsék, chipek, lapkák és precíziós alkatrészek, és mindezt a szennyeződés veszélyének rendkívüli csökkentése mellett. Létrehoztunk egy steril környezetet az UPT és Kaneka anyagok gyártásához, és hamarosan elkezdjük ezeknek az újonnan kifejlesztett szállítótartályoknak a gyártását Japán vezető elektronikai cégei számára.”

A rendkívül alacsony kigázosodás növeli az integrált áramkörök gyártási kapacitását

Annak érdekében, hogy ügyfelei számára a megfelelő megoldásokat biztosítsa, a

SABIC Innovative Plastics a meglévő LNP Stat-Loy termékeit a Stat-Loy 63000CT szériával bővítette, amely olyan ultratiszta, áttetsző, permanensen antisztatikus anyagokat tartalmaz, amelyek az elpárolgó organikus vegyületek igen alacsony kigázosodását és a lúgozó ionok alacsony szintjét teszik lehetővé. Ezzel szemben az áttetsző antisztatikus poli(metil)-metakrilát (PMMA) kigázosodása magas, ami homályosságot okoz. Az átlátszatlan, szénfekete-alapú műanyagok használata mellett lehetetlen a szállemezek vagy fotómaszkok kódszámának egyeztetése a dobozszámmal a tartályok kinyitása nélkül. Az UPT Stat-Loy 63000CT műanyagok azonban rendkívül tiszták, áttetszők és elektromosan vezetők.

Sőt mi több, a polikarbonát-keverék alapú modell a piacon lévő más anyagoknál hússzor nagyobb ütésállósággal rendelkezik.

Az új anyag emellett gyakorlatilag bármilyenre színezhető, beleértve egy speciális színezőanyag-effektusokat felvonultató sorozatot is. Az UPT Stat-Loy 63000CT széria műanyagai kiválóan alkalmasak fotómaszkok és lapkavédő eszközök, chip-dobozok, mikro-elektromechanikai rendszerek tartályai és szállemez-tokok gyártására.

Az UPT Stat-loy 63000CT műanyagok a világon bárhol kaphatók. Amennyiben további információra van szüksége a SABIC Innovative Plastics LNP Stat-Loy műanyagaival kapcsolatban, úgy látogasson el a következő oldalra: www.sabic-ip.com .

Reader Enquiries

Innovative Plastics		Polymers
1 Plastics Avenue		Europaboulevard 1
Pittsfield, Mass.		6135 LD Sittard
United States		Netherlands
Tel: +1 413 448 7383		Tel: +31 (0)46 722 2399
Email: jodi.kennedy@sabic-ip.com		Fax: +31 (0)10 264 4823
Web: www.sabic-ip.com		Email: rachel.kundra@sabic-europe.com
		Web: www.sabic.com

Netherlands

+31 46 722 2222

www.sabic.com